[实用新型]一种单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉。该单晶炉通过在进气管上设置气体预热装置，气体预热装置可以对进入炉体内的氩气进行加热，避免温度较低的氩气进入炉体内对炉体内的温度造成较大的影响，在单晶炉工作的过程中，可以保证炉体内的温度保持在一个稳定的范围内，避免对晶棒的生长造成较大的影响，保证最后长成的硅棒质量达到较高的质量水平，另外，利用抽气泵将抽气孔排出的高温废氩气通过引气管导入空腔内，利用高温废氩气对新的氩气进行预热，不但可以充分利用高温废氩气中含有的热量，实现节能减排，同时，被预热的氩气通入炉体内，可以减少氩气带走炉体内的热量，进一步实现节能减排。适合在单晶生产设备领域推广应用。

主权项

一种单晶炉，包括炉体(1)，所述炉体(1)内部设有石墨坩埚(2)，所述石墨坩埚(2)底部通过坩埚轴(3)与炉体(1)底部相固定，所述石墨坩埚(2)内设有石英坩埚(4)，石墨坩埚(2)外侧设置有侧部加热器(5)，所述炉体(1)侧壁上设置有抽气孔(6)，还包括氩气管(7)与氩气源(15)，所述氩气源(15)与氩气管(7)通过进气管(14)相连，所述氩气管(7)的末端穿过炉体(1)伸入到石英坩埚(4)内，其特征在于：所述进气管(14)上设置有气体预热装置(16)，所述气体预热装置(16)包括密闭的空腔(161)，所述空腔(161)内设置有换热管(162)，所述换热管(162)的两端分别延伸至空腔(161)外并与进气管(14)连通，所述氩气源(15)内的氩气依次沿进气管(14)、换热管(162)、氩气管(7)流入石英坩埚(4)内，所述换热管(162)与空腔(161)的连接处密封，所述空腔(161)上连接有引气管(163)与排气管(164)，所述引气管(163)的一端与炉体(1)上设置的抽气孔(6)连通，引气管(163)的另一端与空腔(161)内部连通，所述引气管(163)上设置有抽气泵(165)，所述排气管(164)与空腔(161)内部连通。