[实用新型]一种全闭环温度控制炉

摘要

本实用新型公开一种全闭环温度控制炉，包括可调节温度的上炉胆和下炉胆，上炉胆和下炉胆镜像对接，形成一个密封的硅片输送烧结空间，在硅片输送烧结空间内设有用于输送硅片的输送带，上炉胆内设有用于加热上炉胆温区温度的上加热装置和用于降低上炉胆温区温度的上降温装置，上炉胆内还设有用于感应控制上炉胆温区温度的上温度感应控制组件，下炉胆内设有用于加热下炉胆温区温度的下加热装置和用于降低下炉胆温区温度的下降温装置，下炉胆内还设有用于感应控制下炉胆温区温度的下温度感应控制组件。本实用新型结构简单、可以确保每个烧结的温区温度差平衡，控制在一定的温度范围内进行烧结。

主权项

一种全闭环温度控制炉，其特征在于，包括可调节温度的上炉胆和下炉胆，所述上炉胆和所述下炉胆镜像对接，形成一个密封的硅片输送烧结空间，在所述硅片输送烧结空间内设有用于输送硅片的输送带，所述上炉胆内设有用于加热上炉胆温区温度的上加热装置和用于降低上炉胆温区温度的上降温装置，所述上炉胆内还设有用于感应控制所述上炉胆温区温度的上温度感应控制组件，所述下炉胆内设有用于加热下炉胆温区温度的下加热装置和用于降低下炉胆温区温度的下降温装置，所述下炉胆内还设有用于感应控制下炉胆温区温度的下温度感应控制组件。