[实用新型]精准称重的蓝宝石导膜炉有效

专利信息
申请号: 201620726450.3 申请日: 2016-07-11
公开(公告)号: CN205821515U 公开(公告)日: 2016-12-21
发明(设计)人: 赵岩;张建玉;王庆国;刘建兴;王文;董建树;韩建峰;庄大伟;罗平;徐军 申请(专利权)人: 上海国晶和泰新材料科技有限公司
主分类号: C30B15/34 分类号: C30B15/34;C30B29/20
代理公司: 上海世贸专利代理有限责任公司31128 代理人: 严新德
地址: 201808 上海市嘉*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种精准称重的蓝宝石导膜炉,包括:水冷籽晶外杆,在所述水冷籽晶外杆顶部设有称重传感器;籽晶内杆,所述籽晶内杆设置在所述水冷籽晶外杆内,所述籽晶内杆的一端与所述称重传感器连接;定位机构,所述籽晶内杆的另一端通过所述定位机构与所述水冷籽晶外杆的底部连接。本实用新型精准称重的蓝宝石导膜炉通过精准的称重结构来实现主要生长阶段的全自动生长也就是半自动生长,来排除人为因素对蓝宝石生长带来的影响,从而使产业化生产标准化,达到稳定生产提高产能,提高成品率的目的。
搜索关键词: 精准 称重 蓝宝石 导膜炉
【主权项】:
一种精准称重的蓝宝石导膜炉,其特征在于,包括:水冷籽晶外杆,在所述水冷籽晶外杆顶部设有称重传感器;籽晶内杆,所述籽晶内杆设置在所述水冷籽晶外杆内,所述籽晶内杆的一端与所述称重传感器连接;定位机构,所述籽晶内杆的另一端通过所述定位机构与所述水冷籽晶外杆的底部连接。
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