[实用新型]一种化学抛光清洗机的供液系统

摘要

本实用新型涉及一种化学抛光清洗机的供液系统，包括储液槽、氮气管路、化学溶液进口管、化学溶液出口管和控制系统，所述储液槽的上端连接有所述氮气管路，所述氮气管路上设有相应的氮气阀门，所述储液槽的下端连接有所述化学溶液进口管和所述化学溶液出口管，化学溶液进口管和化学溶液出口管上分别设有相应的化学溶液进口阀和化学溶液出口阀，所述化学溶液出口管未连接储液槽的一端连接有一混合管路，所述混合管路还连接有一化学溶液浓度调整机构，所述化学溶液浓度调整机构包含连接到混合管路上的去离子水管，所述去离子水管上设置有一去离子水气动阀。该化学抛光清洗机的供液系统能够根据需要对化学抛光用化学试剂的浓度进行调低。

主权项

一种化学抛光清洗机的供液系统，包括储液槽、氮气管路、化学溶液进口管、化学溶液出口管和控制系统，所述储液槽的上端连接有所述氮气管路，所述氮气管路上设有相应的氮气阀门，所述储液槽的下端连接有所述化学溶液进口管和所述化学溶液出口管，其特征在于：所述化学溶液进口管和所述化学溶液出口管上分别设有相应的化学溶液进口阀和化学溶液出口阀，所述化学溶液出口管未连接所述储液槽的一端连接有一混合管路，所述化学溶液出口管在所述化学溶液出口阀的出液端一侧设置有一化学溶液流量计，所述混合管路还连接有一化学溶液浓度调整机构，所述化学溶液浓度调整机构包含连接到所述混合管路上的去离子水管，所述去离子水管上设置有一去离子水气动阀，所述去离子水管在所述去离子水气动阀的出液端一侧设置有一去离子水流量计，所述氮气阀门、化学溶液进口阀、化学溶液出口阀、去离子水气动阀、化学溶液流量计和去离子水流量计均连接到所述控制系统。