[实用新型]槽栅功率器件

摘要

本实用新型揭示了一种槽栅功率器件。本实用新型提供的一种槽栅功率器件，通过将沟槽中的所述栅极材料层具有高于第二阻止层的一部分并将这一部分氧化形成第二氧化层，且所述第二氧化层覆盖部分第二阻止层，从而使整个槽栅结构被保护住，在现有光刻设备条件下使槽栅结构在加工工艺中不受到接触孔不稳定工艺的影响，实现更小线宽和更大的套刻余量产品的生产，使产品的参数和可靠性满足要求。

主权项

一种槽栅功率器件，包括：半导体衬底；位于所述半导体衬底上的第一阻止层；位于所述第一阻止层上的第二阻止层；贯穿所述第二阻止层、第一阻止层并延伸至所述半导体衬底中的第一沟槽和第二沟槽；位于所述半导体衬底中所述第一沟槽和第二沟槽的侧壁和底壁的栅介电层；位于所述第一沟槽和第二沟槽中的栅极材料层；位于所述第二阻止层及所述栅极材料层上的第二氧化层；位于所述半导体衬底中第一沟槽和第二沟槽两侧的P阱；位于所述半导体衬底中第一沟槽和第二沟槽两侧所述P阱上的N型区；位于所述半导体衬底上的覆盖介质层；接触孔，所述接触孔位于所述第一沟槽两侧贯穿所述覆盖介质层、第一阻止层并延伸至所述半导体衬底中，以及位于所述第二沟槽中贯穿所述覆盖介质层、第二氧化层并延伸至所述栅极材料层中；位于所述接触孔底部的P型区。