[实用新型]双层石英槽有效
| 申请号： | 201620742422.0 | 申请日： | 2016-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN205982904U | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 袁树明;韦建晶 | 申请（专利权）人： | 苏州伟仕泰克电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及双层石英槽，包括清洗槽、防护槽、主排阀、侧排阀，其特征在于防护槽位于清洗槽上部外围，防护槽一侧底部设置有侧排阀，清洗槽底部设置有主排阀，主排阀外接负压设备，清洗槽、防护槽同轴，清洗槽高于防护槽。实际使用时，由于清洗槽外围设置有防护槽，因此注入清洗液的时候可以通过增加注液压力实现快速放清洗液的目的，多余的清洗液会经清洗槽顶部流到防护槽间，所以可以适当增加单位净流入量从而减不注液时间，提高工作效率。本实用新型结构简单，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 双层 石英 | ||
【主权项】：
双层石英槽，包括清洗槽、防护槽、主排阀、侧排阀，其特征在于防护槽位于清洗槽上部外围，防护槽一侧底部设置有侧排阀，清洗槽底部设置有主排阀，主排阀外接负压设备，清洗槽、防护槽同轴，清洗槽高于防护槽。
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