[实用新型]全自动双槽清洗机有效
申请号: | 201620742543.5 | 申请日: | 2016-07-15 |
公开(公告)号: | CN205959953U | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 袁树明;韦建晶 | 申请(专利权)人: | 苏州伟仕泰克电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215021 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及全自动双槽清洗机,包括机体、横移电机、电机座、升降电机、加热器、石英槽、排风法兰、机械臂、照明系统,加热器优选石英外壁。石英槽分别为酸洗槽与快排清洗槽。石英槽中的快排清洗槽内设置快速喷漆及冲洗系统。本实用新型是一种可以自动补充进液与排液,由机械臂执行运输及工艺切换的自动化设备。由于机械臂、升降电机、横移电机、加热器、排风法兰、照明系统、石英槽、加热器均通过线缆与外接的信息处理终端连接,因此可以通过信息处理终端对各部件进行控制,产品主要通过机械臂来正确地切换工艺流程并保证运输。 | ||
搜索关键词: | 全自动 清洗 | ||
【主权项】:
全自动双槽清洗机,包括机体、横移电机、电机座、升降电机、加热器、石英槽、排风法兰、机械臂、照明系统,其特征在于照明系统位于机体上部,照明系统下方设置有机械臂,所述机械臂前方为夹爪部分,后方为支撑部分,机械臂的支撑部分下端固定在升降电机输出端上,升降电机设置在电机座上,电机座与横移电机连接,横移电机设置在机体下部的槽形轨道上,机械臂的夹爪部分下面设置有石英槽,石英槽为并列的两个,石英槽下方设置有加热器,机体上与石英槽上表面等高位置设置有排风法兰,机体通过排风法兰连接机体内外空间,机械臂、升降电机、横移电机、加热器、排风法兰、照明系统、石英槽、加热器均通过线缆与外接的信息处理终端连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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