[实用新型]激光剥蚀样品室有效
| 申请号： | 201620745236.2 | 申请日： | 2016-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN205910046U | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 文明;何康昊;宋江锋;姚勇;李佩龙;邓立;杨雷 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | G01N1/44 | 分类号： | G01N1/44;H01J49/04 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 孟宪功 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种激光剥蚀样品室，包括内腔室、外腔室和送样装置；内腔室具备第一进气口和第一出气口，内腔室上开设有进样口和出样口；送样装置包括通过进样口和出样口可滑动地贯穿内腔室的样品托条，以及与样品托条连接并用于带动样品托条在进样口和出样口所处直线上滑动的驱动装置；内腔室和送样装置均设置在外腔室内，外腔室具备第二进气口和第二出气口。该激光剥蚀样品室，实现了样品的自动更换，无需频繁开启样品室，从而避免了因频繁开启样品室对激光剥蚀进样系统中的气路造成影响。同时，消除了内腔室内外的压力差，避免了由于内腔室内外压力差导致的样品颗粒云泄漏。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 剥蚀 样品 | ||
【主权项】：
激光剥蚀样品室，其特征在于：所述激光剥蚀样品室包括内腔室、外腔室和送样装置；所述内腔室具备第一进气口和第一出气口，所述内腔室上开设有进样口和出样口；所述送样装置包括通过所述进样口和所述出样口可滑动地贯穿所述内腔室的样品托条，以及与所述样品托条连接并用于带动所述样品托条在所述进样口和所述出样口所处直线上滑动的驱动装置；所述内腔室和所述送样装置均设置在所述外腔室内，所述外腔室具备第二进气口和第二出气口。
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