[实用新型]一种新型无腔室的石墨烯高温压力传感器有效
| 申请号： | 201620746232.6 | 申请日： | 2016-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN205879412U | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及高温压力测试技术领域，具体涉及一种新型无腔室的石墨烯耐高温压力传感器。所述高温压力传感器为无腔室结构；所述高温压力传感器包括用于感受外部压力的氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结，所述氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结的外部不设置腔室结构；所述氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结为三层结构，从上到下依次为顶层氮化硼、石墨烯层和底层氮化硼。本实用新型所述高温压力传感器利用氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结作为敏感元件感受外部压力信号，器件灵敏度不依赖于压力腔，所以不会产生额外的噪声压力引起的温度漂移，噪声压力减小300%，可大幅提高器件在高温环境下的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 无腔室 石墨 高温 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种新型无腔室的石墨烯高温压力传感器，其特征在于，所述高温压力传感器为无腔室结构；所述高温压力传感器包括用于感受外部压力的氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结（2），所述氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结（2）的外部不设置腔室结构；所述氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结（2）为三层结构，从上到下依次为顶层氮化硼、石墨烯层和底层氮化硼；所述高温压力传感器还包括基片（1）、绝热凸台（6）、螺纹卡口（7）以及底层固定基座（8）；所述氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结（2）设置在基片（1）上部的中心位置，所述基片（1）设置在所述绝热凸台（6）的中心位置，所述绝热凸台（6）设置于底层固定基座（8）上部，在底层固定基座（8）的周边设置至少一个螺纹卡口（7），通过螺纹卡口（7）将底层固定基座（8）固定于指定位置。
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