[实用新型]高速动态聚焦激光振镜模组

摘要

本实用新型涉及一种高速动态聚焦激光振镜模组。其目的是提供一种集成度高、标刻精细、性能稳定的动态聚焦激光振镜。本实用新型包括壳体、动态聚焦模块、X扫描振镜和Y扫描振镜，动态聚焦模块、X扫描振镜和Y扫描振镜都设置在壳体内部，动态聚焦模块又包括Z轴底座、Z轴第一电机、Z轴第二电机、连杆传动机构、变焦透镜和聚焦透镜组。Z轴采用双电机的驱动方式，极大的提升了Z轴的运行速度；动态聚焦模块与X扫描振镜和Y扫描振镜组合而成，大大提高了产品的集成度。遮光座、变焦透镜和聚焦透镜组为一体化装配，保证了光路的同轴度，整体结构对电机装配及光路系统进行了高精度和紧凑化设计，在保证曲面或者大幅面精密标刻的同时，整体体积比同类型产品缩小三分之一。

主权项

一种高速动态聚焦激光振镜模组，其特征在于：包括壳体、动态聚焦模块、X扫描振镜(7)和Y扫描振镜(6)，壳体又包括第一壳体(10)和第二壳体(11)，第二壳体(11)的第一侧壁上开设有保护窗口(17)，保护窗口(17)内嵌有保护窗镜片(18)，与第二壳体(11)的第一侧壁相对的第二壳体(11)的第二侧壁为敞口设置，第一壳体(10)与第二壳体(11)的敞口侧配合连接，第二壳体(11)的第三侧壁上开设有激光入射孔(16)，第二壳体(11)内部设置有内支架(12)，内支架(12)的内部开设有空腔，空腔与保护窗口(17)连通，内支架(12)的第一侧壁上开设有第一通孔(13)，与内支架(12)的第一侧壁相邻的内支架(12)的第二侧壁上开设有第二通孔(15)，与内支架(12)的第二侧壁相对的内支架(12)的第三侧壁上开设有入光孔，第二通孔(15)与入光孔相对设置，第一通孔(13)分别与第二通孔(15)和入光孔相互垂直，内支架(12)的第一侧壁外侧设置有X扫描振镜(7)，X扫描电机轴穿过第一通孔(13)并伸入到空腔中，X扫描电机轴的端部与X镜片连接，X镜片与入光孔位于同一水平面上，内支架(12)的第二侧壁外侧设置有Y扫描振镜(6)，Y扫描电机轴穿过第二通孔(15)并伸入到空腔中，Y扫描电机轴的端部与Y镜片连接，Y镜片的中心对准保护窗口(17)的中心，内支架(12)的一侧设置有第一驱动板(36)，第二壳体(11)内部还设置有动态聚焦模块，动态聚焦模块的两侧分别设置有Z轴第一电机驱动板(38)和Z轴第二电机驱动板(37)，动态聚焦模块又包括Z轴底座(26)、Z轴第一电机(24)、Z轴第二电机(25)、连杆传动机构、变焦透镜和聚焦透镜组，Z轴底座(26)固定在第二壳体(11)的第一侧壁内侧，Z轴底座(26)上安装有直线导轨(27)，直线导轨(27)上嵌有滑座(28)，直线导轨(27)的一侧沿竖直方向并排固定有Z轴第一电机(24)和Z轴第二电机(25)，位于底端的Z轴第一电机轴和Z轴第二电机轴与连杆传动机构的一端铰接，连杆传动机构的另一端与滑座(28)铰接，滑座(28)上沿竖直方向安装有变焦透镜，Z轴底座(26)顶端沿水平方向并排设置有遮光座(30)和聚焦透镜组，遮光座(30)中间位置开设有通光孔，通光孔、变焦透镜和聚焦透镜组的中心位于同一水平直线上，变焦透镜对准激光入射孔(16)，聚焦透镜组对准内支架(12)上的入光孔。