[实用新型]一种回收光刻胶过滤装置

摘要

本实用新型公开了一种回收光刻胶过滤装置，包括胶罐、过滤装置、控制器；过滤装置包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，第一过滤器内的第一过滤网的网孔大于第二过滤器内的第二过滤网的网孔，第二过滤器内的第二过滤网的网孔大于第三过滤器内的第三过滤网的网孔；第一过滤器的进口通过胶管与回收胶瓶相连接，第一过滤器的出口通过第一阀门与第二过滤器的进口相连接，且通过第二阀门与第一光刻胶胶瓶相连接；第二过滤器的出口通过第三阀门与第三过滤器的进口相连接，且通过第四阀门与第二光刻胶胶瓶相连接；第三过滤器的出口通过第五阀门与第三光刻胶胶瓶相连接。本实用新型对回收光刻胶进行过滤处理，以保证过滤后得到的光刻胶干净清洁。

主权项

一种回收光刻胶过滤装置，其特征在于：包括胶罐、过滤装置、控制器，所述胶罐内设置有回收胶瓶，所述胶罐上设置有进气管，所述进气管上设置有进气阀；所述过滤装置包括第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，所述第一过滤器内的第一过滤网的网孔大于所述第二过滤器内的第二过滤网的网孔，所述第二过滤器内的第二过滤网的网孔大于所述第三过滤器内的第三过滤网的网孔；所述第一过滤器的进口通过胶管与所述回收胶瓶相连接，所述第一过滤器的出口通过第一阀门与所述第二过滤器的进口相连接，且通过第二阀门与第一光刻胶胶瓶相连接；所述第二过滤器的出口通过第三阀门与所述第三过滤器的进口相连接，且通过第四阀门与第二光刻胶胶瓶相连接；所述第三过滤器的出口通过第五阀门与第三光刻胶胶瓶相连接；所述第一光刻胶胶瓶、第二光刻胶胶瓶和第三光刻胶胶瓶的瓶口分别设置有第一液位传感器、第二液位传感器和第三液位传感器；所述控制器分别与所述进气阀、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门、第一液位传感器、第二液位传感器和第三液位传感器相连接。