[实用新型]一种非制冷宽波段红外探测器

摘要

本实用新型公开了一种非制冷宽波段红外探测器，其单元器件包括硅基底、支撑层、金属电极、宽波段红外吸收层、热敏感层及悬空孔；热敏感层置于宽波段红外吸收层上方或下方的中间；金属电极置于热敏感层的两旁、宽波段红外吸收层两端的上方；支撑层置于硅基底上方，悬空孔置于硅基底和支撑层的中间，并穿透了硅基底和支撑层，宽波段红外吸收层和热敏感层均置于支撑层上方且完全覆盖支撑层中间的悬空孔的上端开口。本实用新型的宽波段红外吸收层和热敏感层共同组成红外敏感层，并结合悬空结构，可极大提高探测器的性能。解决了现有非制冷宽波段红外探测器工艺复杂、红外吸收波段窄、红外吸收率低等问题，实现非制冷宽波段、低成本、高灵敏度红外探测。

主权项

一种非制冷宽波段红外探测器，其特征在于，其单元器件包括硅基底(101)、支撑层(102)、金属电极(103)、宽波段红外吸收层(104)、热敏感层(105)以及悬空孔(106)；宽波段红外吸收层(104)置于热敏感层(105)上方或者下方，且热敏感层(105)位于宽波段红外吸收层(104)的中间并与其相接触；金属电极(103)置于热敏感层(105)的两旁、宽波段红外吸收层(104)两端的上方，并与宽波段红外吸收层(104)相接触；支撑层(102)置于硅基底(101)上方，悬空孔(106)置于硅基底(101)和支撑层(102)的中间，并且穿透了硅基底(101)和支撑层(102)，宽波段红外吸收层(104)和热敏感层(105)均置于支撑层(102)上方且完全覆盖了支撑层(102)中间的悬空孔(106)的上端开口；宽波段红外吸收层(104)采用三维碳纳米材料，同时作为导电层，热敏感层(105)采用热敏弹性体；宽波段红外吸收层(104)和热敏感层(105)共同组成红外敏感层；宽波段红外吸收层(104)厚度为5nm～2μm；悬空孔(106)的上端开口大小为5μm×5μm～500μm×500μm；支撑层(102)厚度为20nm～2μm；热敏感层(105)厚度为50nm～10μm；金属电极(103)厚度为50nm～200nm；单元器件的大小尺寸为7μm×7μm～1000μm×1000μm，宽波段红外吸收层(104)的填充因子为42％～94％。