[实用新型]基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统有效
| 申请号： | 201620758100.5 | 申请日： | 2016-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN205844405U | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | 高波;武乐乐;张艺菲;王德波 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G01R21/00 | 分类号： | G01R21/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 朱桢荣 |
| 地址： | 210003 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统，该悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统以砷化镓为衬底，在衬底上设计有共面波导传输线和四个不同长度的MEMS悬臂梁：当待测微波功率较小时，由于静电力较小，只有较长的MEMS悬臂梁臂下拉；当待测微波功率较大时，由于静电力较大，可以使较短的MEMS悬臂梁臂下拉。根据MEMS悬臂梁的电容变化量与微波功率是一一对应的关系，就可以测量出微波信号的功率。本实用新型系统结构简单，测量幅度范围大、不消耗直流功率，且便于集成；不仅可以扩展检测功率的动态范围，而且还可以提高检测功率的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 悬臂梁 级联 结构 高精度 微波 功率 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统，其特征在于，包括衬底，衬底上设有共面波导CPW信号线，CPW信号线的两侧分别设有CPW地线，每根CPW地线旁各设有电容检测第一端口和电容检测第二端口，每根CPW地线上均设有2个桥墩，每个桥墩上分别设有一个MEMS悬臂梁，这4个MEMS悬臂梁的长度是不同的，MEMS悬臂梁的下方设有传感电极，传感电极与其同侧的电容检测第一端口之间设有膜桥，膜桥的下方设有连接线，传感电极通过连接线与其同侧的电容检测第一端口连接，CPW地线与其同侧的电容检测第二端口连接，连接线上、MEMS悬臂梁下方的CPW信号线上、传感电极上均设有绝缘介质层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京邮电大学，未经南京邮电大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620758100.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高温环境下具有温度补偿的大电流测量电路
- 下一篇：一种多功能功率分析仪
