[实用新型]一种新型多晶硅片清洗机

摘要

本实用新型提供了一种新型多晶硅片清洗机，属于机械技术领域。它解决了现有的清洗机清洗效果不佳的问题。本新型多晶硅片清洗机包括底板和设于底板上的圆板，圆板下侧设有多个喷头，圆板和底板之间设有储液桶，储液桶顶部敞口、底部封闭，底板上设有能驱动储液桶上下平移的驱动件，储液桶顶壁能与圆板下端面相抵并将储液桶顶部敞口封闭，储液桶内固定有呈锥形的支撑筒，支撑筒直径向下逐渐减小，支撑筒上端口处制有向外的翻边，翻边上端面上设有用于放置多晶硅片的凹槽，凹槽的数量与喷头相同且凹槽的位置与喷头的出水口一一正对。本新型多晶硅片清洗机具有清洗效果好的优点。

主权项

一种新型多晶硅片清洗机，包括底板和设于底板上且与其平行的圆板，圆板的下侧设有多个沿圆板的周向均布的喷头，其特征在于，所述的圆板和底板之间设有储液桶，储液桶顶部敞口、底部封闭，所述的底板上设有能驱动储液桶上下平移的驱动件，且储液桶的顶壁能与圆板的下端面相抵并将储液桶的顶部敞口封闭，所述的储液桶内固定有呈锥形的支撑筒，支撑筒和储液桶两者的中心轴线共线，且支撑筒的直径向下逐渐减小，所述的支撑筒的上端口处制有向外的翻边，翻边的上端面上设有用于放置多晶硅片的凹槽，所述的凹槽的数量与喷头相同且凹槽的位置与喷头的出水口一一正对。