[实用新型]一种封闭式臭氧喷淋系统有效
| 申请号： | 201620768598.3 | 申请日： | 2016-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN205959958U | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 常宇峰;王亚豪;庞国峰;张亦平 | 申请（专利权）人： | 江苏永能光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种封闭式臭氧喷淋系统，其包括第一手动阀等，第一手动阀和第二手动阀都与氮气罐连接，第一气动阀连接于第一手动阀下方，第二气动阀连接于第一手动阀下方，氮气加热管的两端分别与第一气动阀和喷淋管相连，第二流量计的两端分别与第二气动阀和喷淋管相连，第一流量计与喷淋管相连，第三气动阀的两端分别与第三手动阀和第一流量计相连，臭氧发生机和氧气罐相连且位于第三手动阀上方，抽风机的两端分别与出风口、甩干机连接，第一流量计、喷淋管、第二流量计都位于甩干机内。本实用新型解决了臭氧外泄问题，使氧化层更加均匀，减少氧气用量，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 封闭式 臭氧 喷淋 系统 | ||
【主权项】：
一种封闭式臭氧喷淋系统，其特征在于，其包括第一手动阀、第一气动阀、第二手动阀、第二气动阀、第三手动阀、第三气动阀、第一流量计、喷淋管、第二流量计、氮气加热管、甩干机、抽风机、出风口、氧气罐、氮气罐、臭氧发生机，第一手动阀和第二手动阀都与氮气罐连接，第一气动阀连接于第一手动阀下方，第二气动阀连接于第一手动阀下方，氮气加热管的两端分别与第一气动阀和喷淋管相连，第二流量计的两端分别与第二气动阀和喷淋管相连，第一流量计与喷淋管相连，第三气动阀的两端分别与第三手动阀和第一流量计相连，臭氧发生机和氧气罐相连且位于第三手动阀上方，抽风机的两端分别与出风口、甩干机连接，第一流量计、喷淋管、第二流量计都位于甩干机内。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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