[实用新型]一种扩散用的石英扩散炉管

摘要

本实用新型公开了一种扩散用的石英扩散炉管，所述石英扩散炉管的尾部设有球头，所述石英扩散炉管的尾部还设有至少1个旁路管，且该旁路管与所述石英扩散炉管的内部空间连通。本实用新型可以有效减少甚至排尽炉管非加热部分空隙空间部位的扩散酸性气体，使该部位取而代之地充满氮气，从而可以从源头上减少甚至避免扩散酸性物质的沉积，进而减少甚至避免喷淋管由于腐蚀问题而导致的报废。

主权项

一种扩散用的石英扩散炉管，所述石英扩散炉管(1)的尾部设有球头(3)，其特征在于：所述石英扩散炉管的尾部还设有至少1个旁路管(4)，且该旁路管与所述石英扩散炉管的内部空间连通。