[实用新型]一种微机电麦克风有效
申请号: | 201620783466.8 | 申请日: | 2016-07-22 |
公开(公告)号: | CN205830021U | 公开(公告)日: | 2016-12-21 |
发明(设计)人: | 吴海斌;段尚汝 | 申请(专利权)人: | 吴海斌;段尚汝 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心32203 | 代理人: | 薛云燕 |
地址: | 210094 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种微机电麦克风,以U型的容腔作为保护壳,容腔内部从上至下依次设置一级传声入口、二级传声入口、隔离板、上固定极板、下固定极板,其中一级传声入口设置于U型容腔最上端的边缘,隔离板为左右对称结构,且隔离板下方对称的每一侧均设置一组上下对应的上固定极板、下固定极板;振动敏感板设置于容腔的内部,且振动敏感板的形状为工字型,工字型的上横梁位于二级传声入口与隔离板中间,工字型的下横梁位于上固定极板与下固定极板的中间;下固定极板与检测电路中前置放大器模块的输入端相连,并使下固定极板虚地。本实用新型微机电麦克风具有高灵敏度、低噪声的特点,制造成本低且实用性强。 | ||
搜索关键词: | 一种 微机 麦克风 | ||
【主权项】:
一种微机电麦克风,其特征在于:以U型的容腔(1)作为保护壳,容腔(1)内部从上至下依次设置一级传声入口(6)、二级传声入口(7)、隔离板(3)、上固定极板(4)、下固定极板(5),其中一级传声入口(6)设置于U型容腔(1)最上端的边缘,隔离板(3)为左右对称结构,且隔离板(3)下方对称的每一侧均设置一组上下对应的上固定极板(4)、下固定极板(5);振动敏感板(2)设置于容腔(1)的内部,且振动敏感板(2)的形状为工字型,工字型的上横梁位于二级传声入口(7)与隔离板(3)中间,工字型的下横梁位于上固定极板(4)与下固定极板(5)的中间;下固定极板(5)与检测电路中前置放大器模块的输入端相连,并使下固定极板(5)虚地;声音通过一级传声入口(6)和二级传声入口(7)过滤后传导至振动敏感板(2),振动敏感板(2)沿着固定方向发生位移,通过改变工字型的上横梁与下横梁间距来调整振动敏感板(2)与上固定极板(4)、下固定极板(5)的平衡位置,振动敏感板(2)下横梁与上固定极板(4)和下固定极板(5)之间的位移变化转化为差动的电容变化量,通过预加的偏置电压变成电流信号,再由前置放大器放大,最终转为电压信号输出。
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