[实用新型]一种硅片双面研磨机定位推杆

摘要

本实用新型提出的一种硅片双面研磨机定位推杆，包括推杆、推块、滑块、滑槽和连接杆，推块与推杆连接，通过研磨机控制进给，推块下端通过连接杆连接滑块，滑块位于滑槽内，并沿滑槽走向运动，连接杆上设有第二导向块，第二导向块与滑槽上方的第二导向槽对应配合，本实用新型结构简单，设计合理，代替了原先使用的、推杆和推块的分体式螺纹调节机构，滑槽采用对称、上下间隔的设定，并设计多弧面结构，降低了滑块和滑槽的磨损，也提高了滑块和滑槽的契合度，具有进给稳定、导向精确的特点，进而保证了硅棒的平稳推送，提高了硅棒的研磨效果，从而降低了硅棒的原料浪费，保证了硅片的加工效果和效率，同时，双面研磨机研磨砂轮的研磨强度更加均匀，降低了研磨砂轮的损耗。

主权项

一种硅片双面研磨机定位推杆，其特征在于，包括推杆、推块、滑块、滑槽和连接杆，所述推杆水平设置，并与研磨机固定连接，推杆的数量为2个，2个推杆的长度一致，所述推块与2个推杆固定连接，推块呈长方体状；所述滑槽设置于工作台内，滑槽上方留有供连接杆运动的开口，滑槽的两侧设有2个第一导向槽，其下端设有导向条，所述位于滑槽的两侧的2个第一导向槽对称设置，第一导向槽的截面呈M形，包括2个上下对称的卡槽和位于2个卡槽之间的卡块，所述卡槽呈三角形，其所呈的三角形的一端设有第一圆弧，所述第一圆弧所对应的圆心角为α，所述α=150°~180°，所述卡块呈三角形，其所呈的三角形的一端设有第二圆弧，所述第二圆弧所对应的圆心角为β，所述β=125°~135°，所述导向条的数量为2条，位于滑槽下端中部，并沿滑槽走向延伸，导向条凸出于滑槽的下端面，其截面呈半圆形；所述连接杆竖直设置，其上端与推块的下端面固定连接，其下端与滑块固定连接，所述滑块与滑槽对应配合，连接杆上设有呈椭球形的第二导向块，所述开口的两侧设有第二导向槽，所述第二导向槽的截面呈半椭圆形，第二导向槽与第二导向块对应配合。