[实用新型]一种光阻储液罐和光阻涂布机

摘要

本实用新型公开了一种光阻储液罐和光阻涂布机，包括密封箱体，密封箱体左边的进液口处连接有储液罐，密封箱体上还安装有控制面板，控制面板上镶嵌有液晶触摸屏，密封箱体与储液罐的外壁上涂覆有遮光涂层，储液罐的顶部旋接有密封盖，密封盖上安装有电磁阀，电磁阀的输出端连接有导液管，密封箱体进液口出安装有加压泵，加压泵的输出端连接有高压喷嘴，密封箱体的底端安装有玻璃基板，玻璃基板的内侧边固定有支撑架，支撑架上套接有气刀涂布器，玻璃基板的尾端连接有干燥箱；控制面板内部安装有嵌入式微处理器，嵌入式微处理器连接有数据采集器和功率调节器。本实用新型能有效减小光阻损耗提高产品质量和生产效率。

主权项

一种光阻储液罐和光阻涂布机，包括密封箱体(1)，所述密封箱体(1)左边的进液口处连接有储液罐(2)，密封箱体(1)上还安装有控制面板(3)，所述控制面板(3)上镶嵌有液晶触摸屏(4)，其特征在于：所述密封箱体(1)与储液罐(2)的外壁上涂覆有遮光涂层(5)，所述储液罐(2)的顶部旋接有密封盖(6)，所述密封盖(6)上安装有电磁阀(7)，所述电磁阀(7)的输出端连接有导液管(8)，所述导液管(8)的另一端插接进密封箱体(1)的进液口；所述密封箱体(1)进液口出安装有加压泵(9)，所述加压泵(9)的输出端连接有高压喷嘴(10)，所述密封箱体(1)的底端安装有玻璃基板(11)，所述玻璃基板(11)的内侧边固定有支撑架(12)，所述支撑架(12)上套接有气刀涂布器(13)，玻璃基板(11)的尾端连接有干燥箱(14)；所述控制面板(3)内部安装有嵌入式微处理器(15)，所述嵌入式微处理器(15)连接有数据采集器(16)和功率调节器(17)。