[实用新型]降低硅片吹干时间的烘干槽有效

专利信息
申请号: 201620807317.0 申请日: 2016-07-28
公开(公告)号: CN205878800U 公开(公告)日: 2017-01-11
发明(设计)人: 申请(专利权)人:
主分类号: F26B9/10 分类号: F26B9/10;F26B21/00
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 代理人: 曹祖良,刘海
地址: 214028 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种降低硅片吹干时间的烘干槽,包括烘干槽槽体,在烘干槽槽体中放置装有硅片的花篮,烘干槽槽体的两侧设置出风槽,出风槽中安装轴流风机和加热管,在烘干槽槽体的两侧壁上设置热风出风口;其特征是:在所述花篮的底部布置多根风刀或管道,在风刀或管道的上部布置若干出风口。在所述花篮的底部布置2~20根风刀或管道。所述出风口的孔径为0.5mm~5mm。所述风刀或管道的长度大于花篮2的长度。所述风刀或管道与气源连接。本实用新型改善太阳能电池制造过程中硅片在烘干槽内的烘干效果,解决硅片流入后道产生制程异常的问题,缩短烘干时间,提高设备产能。
搜索关键词: 降低 硅片 吹干 时间 烘干
【主权项】:
一种降低硅片吹干时间的烘干槽,包括烘干槽槽体(1),在烘干槽槽体(1)中放置装有硅片的花篮(2),烘干槽槽体(1)的两侧设置出风槽(6),出风槽(6)中安装轴流风机(3)和加热管(4),在烘干槽槽体(1)的两侧壁上设置热风出风口(5);其特征是:在所述花篮(2)的底部布置多根风刀或管道(7),在风刀或管道(7)的上部布置若干出风口(8)。
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