[实用新型]废光刻胶回收再生系统有效
| 申请号： | 201620807404.6 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN205982984U | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 罗文烽 | 申请（专利权）人： | 罗文烽 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙)33213 | 代理人： | 沈渊琪 |
| 地址： | 中国台湾新北*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种废光刻胶回收再生系统。本实用新型提供的废光刻胶回收再生系统包括中和装置、脱水装置与乙酰化装置。中和装置用于对废光刻胶进行中和处理。脱水装置连通至中和装置，且用于对中和处理后的废光刻胶进行脱水处理。乙酰化装置连通至脱水装置，且用于对脱水处理后的废光刻胶进行乙酰化处理，而获得乙酰化高分子。所述废光刻胶回收再生系统可有效地将废光刻胶进行回收再生利用。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 回收 再生 系统 | ||
【主权项】：
一种废光刻胶回收再生系统，其特征在于，包括：中和装置，用于对废光刻胶进行中和处理；脱水装置，连通至所述中和装置，且用于对所述中和处理后的所述废光刻胶进行脱水处理；以及乙酰化装置，连通至所述脱水装置，且用于对所述脱水处理后的所述废光刻胶进行乙酰化处理，而获得乙酰化高分子。
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