[实用新型]一种承载盘旋转控制装置有效
| 申请号： | 201620818430.9 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN206133268U | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 邓耀华;董杰;吴黎明 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 杨炳财,屈慧丽 |
| 地址： | 510062 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种承载盘旋转控制装置，通过不断检测承载盘的实时转速并与预先设定的目标转速相比较，从而形成反馈调节来调节承载盘转速，同时根据检测到的实际承载盘的转速调节出适合该实时转速的反应腔气体环境，解决了在转速调整过程中反应腔体环境与实时转速不对应的问题。本实用新型实施例方法包括承载盘转速控制模块、反应腔体气体控制模块、伺服电机和气动阀，所述承载盘转速控制模块分别与所述反应腔体气体控制模块和所述伺服电机通信连接，所述反应腔体气体控制模块和所述气动阀通信连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 承载 盘旋 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种承载盘旋转控制装置，其特征在于，包括：承载盘转速控制模块、反应腔体气体控制模块、伺服电机和气动阀，所述承载盘转速控制模块分别与所述反应腔体气体控制模块和所述伺服电机通信连接，所述反应腔体气体控制模块和所述气动阀通信连接。
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