[实用新型]一种12英寸石英舟

摘要

本实用新型提出了一种12英寸石英舟立式成型方法及12英寸石英舟，解决了现有技术中因技术和设备的限制，造成成本的增加及效率降低的问题；包括顶板及底板；若干槽棒将顶板与底板连接顶板、底板及若干槽棒形成硅片放置区；挡板，设置在槽棒上，并将硅片放置区分为容量不相同的第一空间和第二空间；本实用新型提出的12英寸石英舟能够保证合格率的同时提高成品率。

主权项

一种12英寸石英舟，其特征在于，包括：用于进行放置物位置限制的顶板（1）及底板（2）；若干槽棒（3），将所述顶板（1）与所述底板（2）连接，且设置在所述顶板（1）及所述底板（2）的外围；所述顶板（1）、所述底板（2）及若干槽棒（3）形成硅片放置区（4）；挡板（5），设置在所述槽棒（3）上，并将所述硅片放置区（4）分为容量不相同的第一空间（41）和第二空间（42）。