[实用新型]一种TFT基板

摘要

本实用新型公开了一种TFT基板。该TFT基板包括多个像素单元，每个像素单元包括依次形成在透明基板上的栅金属层、栅绝缘层、半导体层、源/漏金属层、绝缘介质层和像素电极层，数据线与栅电极、栅线设在同一层，通过绝缘介质层的第一过孔和第二过孔以及像素电极层的第一连接线连接数据线和源电极。该TFT基板的制备方法在原来5次光刻工艺的基础上减少2次光刻，简化TFT制备工艺，降低生产成本提高生产效率，工艺步骤越少，产品的良品率越高，品质越容易控制。

主权项

一种TFT基板，包括多个像素单元，其特征在于，每个像素单元包括依次形成在透明基板上的栅金属层、栅绝缘层、半导体层、源/漏金属层、绝缘介质层和像素电极层，其中：所述栅金属层包括栅电极、横向的栅线和竖向的数据线，所述栅电极和栅线连接，所述数据线和栅电极、栅线断开；所述栅绝缘层位于所述栅电极和栅线上，用于将栅线/栅电极与源电极/漏电极绝缘；所述半导体层位于所述栅电极的栅绝缘层上，其上形成有半导体沟道；所述源/漏金属层包括源电极和漏电极，分别位于所述半导体层的半导体沟道两侧上方；所述绝缘介质层用于将半导体层、栅电极与像素电极层绝缘，其数据线处设有第一过孔、源电极处设有第二过孔、漏电极处设有第三过孔；所述像素电极层包括像素电极和第一连接线、第二连接线。