[实用新型]一种晶闸管芯片台面腐蚀机酸液加热装置

摘要

本实用新型公开了一种晶闸管芯片台面腐蚀机酸液加热装置，包括酸桶，所述酸桶通过一组管路分别与进气电磁阀和出酸电磁阀连接，所述出酸电磁阀还与蛇形加热酸管一端连接，所述蛇形加热酸管设置在加热箱中，所述加热箱中还设置有温度传感器，所述温度传感器与温度控制器电连接，所述加热箱中还设置有加热器，所述加热器与SSR固态继电器电连接，所述蛇形加热酸管另一端与酸液喷头连接。该晶闸管芯片台面腐蚀机酸液加热装置能控制酸液温度，使得酸液能够达到需要使用的温度，加热箱具有保温效果，可让酸液温度更稳定，同时更节省电能，改善季节变换气温变化造成的酸液腐蚀特性差别过大，腐蚀时间难以掌握，减轻设备操作人员操作难度的问题。

主权项

一种晶闸管芯片台面腐蚀机酸液加热装置，包括酸桶（1），其特征在于：所述酸桶（1）通过一组管路（2）分别与进气电磁阀（3）和出酸电磁阀（4）连接，所述出酸电磁阀（4）还通过管路（2）与蛇形加热酸管（5）一端连接，所述蛇形加热酸管（5）设置在加热箱（6）中，所述加热箱（6）中还设置有温度传感器（7），所述温度传感器（7）与温度控制器（8）电连接，所述加热箱（6）中还设置有加热器（9），所述加热器（9）与SSR固态继电器（10）电连接，所述蛇形加热酸管（5）另一端通过管路（2）与酸液喷头（12）连接。