[实用新型]一种晶舟和具有该晶舟的炉管装置

摘要

本实用新型提供一种晶舟和具有该晶舟的炉管装置，晶舟适于放置晶圆，包括顶盖、底盖和晶棒，顶盖和底盖相对设置，且顶盖和底盖的直径小于晶圆的直径；晶棒位于顶盖和底盖之间，一端与顶盖连接,另一端与底盖连接；晶棒的长度方向与顶盖和底盖的表面垂直，且晶棒的端面在顶盖所在平面和底盖所在平面上的投影与顶盖和底盖部分重合或不相重合。本实用新型取消了传统的晶舟旋转设计，并通过改变原始晶舟和内管的形状设计，缩短了晶舟、晶圆和内管壁的空间位置，使在真空状态下气流速度在更窄的空间内流速变快，改善了HTO制程的厚度尤其是顶部的厚度均匀性。

主权项

一种晶舟，适于放置晶圆，包括顶盖、底盖和晶棒，其特征在于，所述顶盖和所述底盖相对设置，且所述顶盖和底盖的直径小于晶圆的直径；所述晶棒位于所述顶盖和所述底盖之间，一端与所述顶盖相连接，另一端与所述底盖相连接；所述晶棒的长度方向与所述顶盖和所述底盖的表面相垂直，且所述晶棒的端面在所述顶盖所在平面和所述底盖所在平面上的投影与所述顶盖和所述底盖部分重合或不相重合。