[实用新型]回收槽车内高纯气体余气的装置有效
| 申请号： | 201620838053.5 | 申请日： | 2016-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN205896677U | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 彭璐;张辉;赵大伟;闫利群 | 申请（专利权）人： | 沈阳洪生气体有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/00 | 分类号： | F17C5/00;F17C13/04;F17C13/02;F17C7/04 |
| 代理公司： | 沈阳智龙专利事务所(普通合伙)21115 | 代理人： | 周智博,宋铁军 |
| 地址： | 110027 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 回收槽车内高纯气体余气的装置，该装置包括汽化器、高纯气体在线分析仪、储罐、膜压机和汇流排；本实用新型在膜压机前加装储罐起到缓冲的作用保证供气的稳定性，在管路上设置高纯气体在线分析仪，同时加装气动切断阀和气动放空阀，当纯度大于99.999%时气动放空阀关闭，气动切断阀打开，当纯度小于99.999%时气动切断阀关闭，气动放空阀打开，同时在储罐上加装电接点压力表当压力低于0.1MPa时联锁停膜压机，汇流排加装电接点压力表当充装压力高与15MPa时联锁停膜压机。 | ||
| 搜索关键词： | 回收 槽车 高纯 气体 装置 | ||
【主权项】：
回收槽车内高纯气体余气的装置，其特征在于:该装置包括汽化器(1)、高纯气体在线分析仪（3）、储罐（5）、膜压机（7）和汇流排（8）；汽化器(1)连接高纯气体在线分析仪（3），高纯气体在线分析仪（3）延伸出两支管路，其中一支管路连接至储罐（5），在连接储罐（5）的管路上设置有气动切断阀（4），在另一支管路上设置有气动放空阀（2），气动切断阀（4）和气动放空阀（2）连接至高纯气体在线分析仪（3）；储罐（5）连接至膜压机（7），膜压机（7）连接至汇流排（8）。
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