[实用新型]反应炉有效
| 申请号： | 201620841599.6 | 申请日： | 2016-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN205839128U | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | 雷奇奇 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种反应炉，包括：反应腔和气体管路，所述气体管路包含多个喷嘴，所述多个喷嘴设置在所述反应腔内，所述多个喷嘴上都设置有开口调节片。本实用新型提供的反应炉，通过包含多个喷嘴的气体管路设置在反应腔内，使反应气体能够在反应腔内快速且均匀分布；进一步的，通过在每个喷嘴上设置开口调节片可单独调节喷嘴开口的大小，满足不同反应的需要。从而使反应腔能够满载利用，并提高了成膜工艺中晶圆的成膜均匀性，提高了机台的使用率，进一步降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 反应炉 | ||
【主权项】：
一种反应炉，其特征在于，包括：反应腔和气体管路，所述气体管路包含多个喷嘴，所述多个喷嘴设置在所述反应腔内，所述多个喷嘴上都设置有开口调节片。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
