[实用新型]一种玻璃光罩手动贴合引导盖装置

摘要

本实用新型提供了一种玻璃光罩手动贴合引导盖装置，包括用于固定玻璃光罩位置的定位销、用于放置玻璃光罩并实现自由调整玻璃光罩高度的顶销、以及用于固定引导盖位置的定位凹槽。定位销、顶销和定位凹槽匀按照特定的位置及排列关系设置在同一塑钢平台，且顶销与塑钢平台之间安装有弹簧，实现顶销相对塑钢平台的自由升降。本实用新型所述一种玻璃光罩手动贴合引导盖装置，通过设置定位销、顶销以及定位凹槽，使得金属引导盖可以精准定位并手动贴合到玻璃光罩指定位置上,实现玻璃光罩在步进式曝光机上自动加载并精准对位的功能。克服了背景技术中所述通过定制贴盖设备贴合引导盖时可操作性差且加工定制贴盖设备周期长、研发费用高的弊端。

主权项

一种玻璃光罩手动贴合引导盖装置，其特征在于，包括：用于固定玻璃光罩位置的定位销、用于放置玻璃光罩的顶销、用于固定引导盖位置的定位凹槽、定位销、顶销与定位凹槽均与同一塑钢平台连接；所述定位销为四个，按照L型位置排列在塑钢平台的上侧和左侧；所述顶销为四个，按照矩形位置排列在塑钢平台中央；所述定位凹槽为两个，按照与塑钢平台上侧两个定位销呈平行位置关系排列在四个顶销所构成的矩形上方2mm位置。