[实用新型]一种硅片烘干装置有效
| 申请号： | 201620848454.9 | 申请日： | 2016-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN205980600U | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 刘锋;刘爱军;陈新军 | 申请（专利权）人： | 无锡隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 邵骅 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公布了一种硅片烘干装置，包括烘干槽，所述烘干槽上部设置有热风管道，通过风机将热风从热风管道吹入烘干槽；其特征在于所述烘干槽内下部设置有多个喷嘴，所述喷嘴将设置在烘干槽下部的风机和热风通道提供的热风向上吹送。本实用新型对现有的硅片清洗机的硅片烘干装置进行改造，在烘干槽的下方另外增加了一路向上吹送热风的热风回路，使得热风能够均匀的吹到硅片上，且可以控制好热风的风向，与原有的热风回路相配合，提高硅片的烘干效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 烘干 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片烘干装置，包括烘干槽，所述烘干槽上部设置有热风管道，通过风机将热风从热风管道吹入烘干槽；其特征在于：所述烘干槽内下部设置有多个喷嘴，所述喷嘴将设置在烘干槽下部的风机和热风通道提供的热风向上吹送。
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