[实用新型]一种带有冷却装置的硅片清洗机有效
| 申请号： | 201620848497.7 | 申请日： | 2016-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN205980721U | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 刘锋;刘爱军;陈新军 | 申请（专利权）人： | 无锡隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/00 | 分类号： | F26B25/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司32200 | 代理人： | 邵骅 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公布了一种带有冷却装置的硅片清洗机，包括硅片清洗机本体，其特征在于在清洗机本体的下料台上方设置有冷风通道，所述冷风通道通过风管与冷气机相连，由冷气机向冷风通道输送冷风。本实用新型使烘干后的硅片在下料台输送过程中在冷风通道内快速冷却，从60~70℃快速冷却到30℃左右，就可以直接上分选机进行分选，大大减少了冷却时间，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 冷却 装置 硅片 清洗 | ||
【主权项】：
一种带有冷却装置的硅片清洗机，包括硅片清洗机本体，其特征在于：在清洗机本体的下料台上方设置有冷风通道，所述冷风通道通过风管与冷气机相连，由冷气机向冷风通道输送冷风。
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