[实用新型]一种用于蓝宝石晶片刷洗的旋转工作平台

摘要

本实用新型涉及蓝宝石晶片刷洗机辅助设备，旨在提供一种用于蓝宝石晶片刷洗的旋转工作平台。该种用于蓝宝石晶片刷洗的旋转工作平台包括安装座、旋转轴、轴承、密封圈，能利用吸盘吸住蓝宝石晶片进行旋转。本实用新型能将蓝宝石晶片稳定可靠的固定在吸盘上，吸盘做高速旋转时，避免了晶片与吸盘脱离，防止人工接触晶片表面和，有效的避免了手动刷洗晶片表面不均匀的现象的产生，提高了晶片的洁净度。

主权项

一种用于蓝宝石晶片刷洗的旋转工作平台，能利用吸盘吸住蓝宝石晶片进行旋转，所述用于蓝宝石晶片刷洗的旋转工作平台包括安装座、旋转轴，其特征在于，还包括密封圈B、轴承；所述旋转轴的轴心处开有从顶部到中部的轴向通气孔，旋转轴的中部还开有垂直于轴向的径向通气孔，且径向通气孔与轴向通气孔连通；旋转轴顶部开有轴上凹槽，用于安装吸盘；所述安装座中部开有径向的通气孔A，且通气孔A的外侧开口端处设有堵头；安装座的下端开有进气口，进气口通过进气通道与通气孔A连通；旋转轴与安装座连接时，安装座的通气孔A与旋转轴径向通气孔的一端连通；且旋转轴的上部和下部分别安装有密封圈B，所述轴承也安装在旋转轴和安装座之间，用于控制旋转轴径向和轴向的移动，保证旋转轴的正常工作位置和旋转精度。