[实用新型]一种用于蓝宝石晶片刷洗工艺的摇臂刷洗装置

摘要

本实用新型涉及蓝宝石晶片的刷洗工艺，旨在提供一种用于蓝宝石晶片刷洗工艺的摇臂刷洗装置。该种用于蓝宝石晶片刷洗工艺的摇臂刷洗装置包括毛刷上下驱动气缸、连接块、连接杆、直线轴承、导向杆、毛刷旋转刷洗组件，毛刷上下驱动气缸通过连接块、连接杆、直线轴承、导向杆，驱动整个毛刷旋转刷洗组件整体上下运动，来实现毛刷的上下运动对蓝宝石晶片进行刷洗。本实用新型可完全替代传统的清洗工艺，不需要人工手动刷洗，避免了由人为因素造成晶片刷洗质量一致性差；且由于其刷洗的一致性高，有利于工程师对清洗工艺的分析研发及改进，减轻了操作人员的劳动强度，大幅提高了生产效率，提高了晶片清洗的合格率。

主权项

一种用于蓝宝石晶片刷洗工艺的摇臂刷洗装置，能利用毛刷对蓝宝石晶片进行刷洗，其特征在于，所述用于蓝宝石晶片刷洗工艺的摇臂刷洗装置包括毛刷旋转驱动电机、毛刷旋转轴、毛刷轴电机安装座、毛刷安装板支撑架、胀紧套、毛刷摆动主轴、导向杆、连接杆、减速机、毛刷摆动伺服电机、毛刷上下驱动气缸、连接块、直线轴承、毛刷安装板、直线轴承安装板、底部气缸连接板；所述毛刷轴电机安装座、毛刷旋转轴分别安装在毛刷安装板上，且毛刷轴电机安装座上安装有毛刷旋转驱动电机；所述毛刷旋转轴用于安装毛刷，毛刷旋转驱动电机能驱动毛刷旋转轴旋转，进而驱动毛刷旋转并控制晶片刷洗的转速；所述毛刷摆动主轴的一端利用胀紧套与毛刷安装板支撑架连接，通过调节毛刷安装板支撑架位置能实现毛刷的高低调节；毛刷摆动主轴的另一端与减速机、毛刷摆动伺服电机连接，毛刷摆动伺服电机、减速机用于控制毛刷的摆动速度；所述导向杆设有四根，每根导向杆上各安装有直线轴承，直线轴承安装板分别与直线轴承固定；所述连接块安装在底部气缸连接板上，用于连接毛刷上下驱动气缸和底部气缸连接板；所述连接杆设有四根，每根连接杆的一端与底部气缸连接板相连，另一端与直线轴承安装板相连，实现利用毛刷上下驱动气缸带动毛刷的上下运动。