[实用新型]一种卧式背封炉蝶阀清洁工装有效
| 申请号： | 201620871614.1 | 申请日： | 2016-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN205984912U | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 张天鹏;张娟娟;郭栋梁 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)41120 | 代理人： | 狄干强 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种卧式背封炉蝶阀清洁工装，包括一圆柱形的导柱和通过螺纹连接在导柱一端的扇形敲击板，所述扇形敲击板为一直线和圆弧线围成的扇形，且圆弧线与蝶阀圆筒的内壁贴合，所述导柱的端部焊接在扇形敲击板直线边的中部，且导柱的上端与直线边平齐，以使手持导柱时，扇形敲击板的弧形尖端位于最下方。本实用新型通过设计一与蝶阀圆筒内壁匹配的扇形敲击板，并将该扇形敲击板用于导柱固定，从而深入到蝶阀圆筒内壁中敲击内壁的结晶，由于扇形敲击板的圆弧线与蝶阀圆筒的内壁贴合，从而可以将内壁各处的晶体敲碎，并全部带出，克服了温度过高，清理困难的问题，缩短了维护时间，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卧式 背封炉蝶阀 清洁 工装 | ||
【主权项】：
一种卧式背封炉蝶阀清洁工装，其特征在于：包括一圆柱形的导柱（1）和通过螺纹连接在导柱（1）一端的扇形敲击板（2），所述扇形敲击板（2）为一直线和圆弧线围成的扇形，且圆弧线与蝶阀圆筒的内壁贴合，所述导柱（1）的端部焊接在扇形敲击板（2）直线边的中部，且导柱（1）的上端与直线边平齐，以使手持导柱（1）时，扇形敲击板（2）的弧形尖端位于最下方。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
