[实用新型]一种单晶硅抛光片清洗机用兼容式甩干盒芯

摘要

一种单晶硅抛光片清洗机用兼容式甩干盒芯，属于单晶硅抛光片生产领域，本实用新型通过在5英寸片盒内设置独特结构的盒芯，盒芯内通过特殊的六边形支架固定4英寸片盒，从而实现了在5英寸片盒内安装4英寸硅片，解决了4英寸、5英寸、6英寸3种尺寸硅片在同一清洗机上的兼容问题，大大节省了清洗成本；在盒芯的特定位置设置条形通孔和圆形透风孔，从而保证了甩干过程中气流的顺畅流动，不会产生涡流，保证了干燥的效果和清洁度；同时，在盒芯的特定部位设置聚偏氟乙烯材料制成的垫块与5英寸片盒接触，从而减少了甩干机在旋转过程中盒芯与5英寸片盒的摩擦，避免了金属和颗粒沾污，起到了良好的保护作用。

主权项

一种单晶硅抛光片清洗机用兼容式甩干盒芯，该盒芯设置在5英寸片盒内，其特征在于：包括一矩形水平板（2）和垂直设置在矩形水平板（2）长度方向两侧上表面且与水平板（2）等长的立板（1）围成的铝合金框架，其中，水平板（2）和立板（1）之间为圆弧过渡连接，且沿两者的连接处设置有条形通孔（9），在每条条形通孔（9）上沿其长度方向均设置有两个六边形支架（6），且两条条形通孔（9）上的四个六边形支架（6）对称，以形成固定支撑4英寸片盒的卡座；所述水平板（2）的中部设置有将其沿长度方向分成两部分的矩形槽（203），且在水平板（2）长度方向两端的下表面垂直设置有矩形护板Ⅰ（4）以将矩形槽（203）的两端封闭，所述矩形护板Ⅰ（4）的两个侧边与水平板（2）宽度方向的两端平齐，所述矩形槽（203）沿其两侧垂直向下设置有矩形护板Ⅱ（201），且矩形护板Ⅱ（201）的下边沿与矩形护板Ⅰ（4）的下边沿平齐，从而将矩形槽（203）围成一矩形框体；所述矩形框体下部长度方向的两侧对称设置有水平的底板（3），且底板（3）、矩形护板Ⅱ（201）、矩形护板Ⅰ（4）和水平板（2）围成向两侧开口的两个条状矩形空间（7），在条状矩形空间（7）内垂直设有若干连接底板（3）和水平板（2）的隔板（8），从而将条状矩形空间（7）分隔成若干个腔室；所述水平板（2）上矩形槽（203）的两侧沿矩形槽（203）的长度方向对称分布有若干圆形透风孔（202），且这些圆形透风孔（202）与条状矩形空间（7）相连通；所述两块立板（1）上部的外侧面和两块底板（3）下表面上均设置有聚偏氟乙烯材料制成的垫块（5），以使盒芯放入5英寸片盒内时，盒芯通过垫块（5）与5英寸片盒的内壁接触。