[实用新型]坩埚喷淋器有效
申请号: | 201620875013.8 | 申请日: | 2016-08-12 |
公开(公告)号: | CN205966678U | 公开(公告)日: | 2017-02-22 |
发明(设计)人: | 徐晓军;朱国平;舒晓峰;季军 | 申请(专利权)人: | 江阴龙源石英制品有限公司 |
主分类号: | B08B9/093 | 分类号: | B08B9/093 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种坩埚喷淋器,属于坩埚清洗设备领域,包括清洗台和设置在清洗台上的清洗室,清洗台构成清洗室的底面,清洗台上平行设有坩埚固定盘,坩埚固定盘转动连接在清洗台上,其坩埚固定盘中间设有清洗孔,清洗孔内伸出有内壁清洗喷头,清洗室侧壁上固定有外壁清洗喷头,本方案可以将坩埚内外表面完全喷淋清洗。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 喷淋 | ||
【主权项】:
一种坩埚喷淋器,包括清洗台(1)和设置在清洗台(1)上的清洗室(2),所述清洗台(1)构成清洗室(2)的底面,所述清洗台(1)上平行设有坩埚固定盘(3),所述坩埚固定盘(3)转动连接在清洗台(1)上,其特征是:所述坩埚固定盘(3)中间设有清洗孔(4),所述清洗孔(4)内伸出有内壁清洗喷头(5),所述清洗室(2)侧壁上固定有外壁清洗喷头(6)。
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