[实用新型]坩埚喷淋器的固定装置及坩埚喷淋器有效
申请号: | 201620875323.X | 申请日: | 2016-08-12 |
公开(公告)号: | CN205966679U | 公开(公告)日: | 2017-02-22 |
发明(设计)人: | 徐晓军;朱国平;舒晓峰;季军 | 申请(专利权)人: | 江阴龙源石英制品有限公司 |
主分类号: | B08B9/093 | 分类号: | B08B9/093;B08B13/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种坩埚喷淋器的固定装置,属于坩埚清洗设备领域,包括清洗台,清洗台上设有坩埚固定盘,坩埚固定盘中间设有清洗孔,清洗台上固定有转动台,转动台上设有环形滑轨,坩埚固定盘滑动配合在环形滑轨上,本方案的坩埚喷淋器的固定装置固定坩埚更加稳固,使得坩埚清洗更彻底。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 喷淋 固定 装置 | ||
【主权项】:
一种坩埚喷淋器的固定装置,包括清洗台(1),所述清洗台(1)上设有坩埚固定盘(3),所述坩埚固定盘(3)中间设有清洗孔(4),其特征是:所述清洗台(1)上固定有转动台(11),所述转动台(11)上设有环形滑轨(12),所述坩埚固定盘(3)滑动配合在所述环形滑轨(12)上。
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