[实用新型]一种基于表面等离激元共振腔的纳米光学压力传感器有效
| 申请号： | 201620880517.9 | 申请日： | 2016-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN206019882U | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 王萍;郎佩琳;段高燕;解廷月 | 申请（专利权）人： | 山西大同大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 037009 山西省大*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基于表面等离激元共振腔的纳米光学压力传感器。该传感器由“∏”字型表面等离激元共振腔和表面等离激元波导耦合构成。入射激光在波导中激发表面等离激元，当入射光的波长与“∏”字型表面等离激元共振腔的共振波长匹配时，可以将表面等离激元的能量耦合进入“∏”字型表面等离激元共振腔。通过测量表面等离激元波导的光强就可以测量出“∏”字型表面等离激元共振腔的共振波长。由于“∏”字型表面等离激元共振腔的共振波长会在外加压力下改变，因此可以测量出外加的压力。由于表面等离激元的波长远远小于光波，所以“∏”字型表面等离激元共振腔的尺寸可以做到1μm以下。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 表面 离激元 共振 纳米 光学 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种基于表面等离激元共振腔的纳米光学压力传感器，其特征是：由“Π”字型表面等离激元共振腔和表面等离激元波导耦合构成，“Π”字型表面等离激元共振腔是由金属内中空的一条横槽和两条竖槽构成，横槽的方向与金属的表面平行而且横槽的槽壁到金属表面的距离很短，在外加压强下，横槽靠近金属表面的槽壁会发生弹性形变，两条竖槽分别与横槽直接相连且均在远离金属表面的一侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山西大同大学，未经山西大同大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620880517.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：测力轮对测量装置
- 下一篇：一种基于往复式气动结构的光纤光栅压力传感器
