[实用新型]一种在线测试硅片减薄量的装置

摘要

本实用新型公开了一种在线测试硅片减薄量的装置，包括控制终端、传送部及传送带，传送带上依次设有上料区、机台内部槽体区和下料区，上料区中位于两条传送带之间设有位于第一升降机构上的第一电子秤和第一光电感应器，第一光电感应器位于第一电子秤靠近机台内部槽体区的一侧，当上料区的硅片刚好挡住第一光电感应器时，硅片平稳的支撑于第一电子秤上；下料区中位于两条传送带之间设有位于第二升降机构上的第二电子秤和第二光电感应器，第二光电感应器位于第二电子秤远离机台内部槽体区的一侧，当下料区的硅片刚好挡住第二光电感应器时，硅片平稳的支撑于第二电子秤上。本实用新型能够在线测试硅片减薄量，节省人工，提高产品质量。

主权项

一种在线测试硅片减薄量的装置，其特征在于：包括控制终端、传送部和设于传送部上的两条平行的传送带，所述传送带上按传送方向依次设有上料区、机台内部槽体区和下料区，所述上料区中位于两条传送带之间设有第一电子秤和第一光电感应器，所述第一电子秤下方设有第一升降机构，所述第一光电感应器位于第一电子秤靠近机台内部槽体区的一侧，并使得：当上料区的硅片刚好挡住第一光电感应器时，硅片平稳的支撑于第一电子秤上；所述下料区中位于两条传送带之间设有第二电子秤和第二光电感应器，所述第二电子秤下方设有第二升降机构，所述第二光电感应器位于第二电子秤远离机台内部槽体区的一侧，并使得：当下料区的硅片刚好挡住第二光电感应器时，硅片平稳的支撑于第二电子秤上；所述传送部、第一电子秤、第一光电感应器、第一升降机构、第二电子秤、第二光电感应器和第二升降机构均连接到控制终端并由控制终端集中控制。