[实用新型]石英坩埚喷涂箱

摘要

本实用新型公开了一种石英坩埚喷涂箱，旨在提供一种具有清理气态结晶水速度快、加快工作进度的优点的石英坩埚喷涂箱，其技术方案要点是，石英坩埚喷涂箱的箱体包括底板、支架和顶板，底板上设有用于放置石英坩埚的转盘，顶板上对应转盘的位置设有抽气机构，抽气机构包括外壳、设于外壳内的叶轮、驱动叶轮旋转的驱动电机和设于箱体外的控制件，抽气机构上还连通有贯穿顶板连通至外界的排气管，这种石英坩埚喷涂箱可以将箱体内的空气连同气态结晶水一起吸出，从而在箱体工作的同时对箱体内弥漫的结晶水进行收集和处理，从而避免对操作人员的身体健康造成损伤，并且减少了结晶水的处理时间，大大加快了操作人员的工作进度。

主权项

一种石英坩埚喷涂箱，包括箱体（1）、设于箱体（1）内壁的喷涂枪（2），其特征在于：所述箱体（1）包括底板（11）、支架（12）和顶板（13），底板（11）上设有用于放置石英坩埚的转盘（14），顶板（13）上对应转盘（14）的位置设有抽气机构（3），抽气机构（3）包括外壳（31）、设于外壳（31）内的叶轮（32）、驱动叶轮（32）旋转的驱动电机（33）和设于箱体（1）外的控制件（34），抽气机构（3）上还连通有贯穿顶板（13）连通至外界的排气管（4）。