[实用新型]一种四氯化硅节能汽化器有效
申请号: | 201620904276.7 | 申请日: | 2016-08-19 |
公开(公告)号: | CN206069386U | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 施兆武 | 申请(专利权)人: | 太仓市金锚化工有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京瑞思知识产权代理事务所(普通合伙)11341 | 代理人: | 张建生 |
地址: | 215427 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种四氯化硅节能汽化器,包括汽化器壳体、氢气分布器和封闭式加热管;所述汽化器壳体的两个相对壁面的底端和顶端分别开设有四氯化硅入口和四氯化硅蒸汽出口;所述氢气分布器放置在所述汽化器壳体的底部,其上连接有连通至所述汽化器壳体外部的插入管,所述封闭式加热管纵向排布在所述汽化器壳体内;所述封闭式加热管的管口密闭,其管内插入有电加热棒,并在所述电加热棒与加热管管壳之间密封填充有导热油。本实用新型通过封闭式加热管的结构设计,不仅简化了加热操作,还避免加热大量导热油,有效降低了能耗,其加热接触面积大,温度均匀,给四氯化硅提高高效稳定的热源,综合性能优异,市场前景广阔。 | ||
搜索关键词: | 一种 氯化 节能 汽化器 | ||
【主权项】:
一种四氯化硅节能汽化器,其特征在于,包括:汽化器壳体、氢气分布器和封闭式加热管;所述汽化器壳体的两个相对壁面的底端和顶端分别开设有四氯化硅入口和四氯化硅蒸汽出口;所述氢气分布器放置在所述汽化器壳体的底部,其上连接有连通至所述汽化器壳体外部的插入管,所述封闭式加热管纵向排布在所述汽化器壳体内;所述封闭式加热管的管口密闭,其管内插入有电加热棒,并在所述电加热棒与加热管管壳之间密封填充有导热油。
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