[实用新型]一种适用于太阳能电池喷淋扩散的装置有效

专利信息
申请号: 201620907982.7 申请日: 2016-08-19
公开(公告)号: CN205944127U 公开(公告)日: 2017-02-08
发明(设计)人: 徐义胜;曹铭;张春华;衡阳;郑旭然 申请(专利权)人: 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 代理人: 陆金星
地址: 215129 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种适用于太阳能电池喷淋扩散的装置,包括扩散炉管,扩散炉管上设置有上部尾管和下部尾管,喷淋式进气管的喷淋扩散段通过上部尾管伸入扩散炉管内;每根下部尾管的一端与扩散炉管内部连通,另一端与一抽风机连接。本实用新型在节省了尾气管及相应连接件的情况下依然保证了尾气的抽取效果;本实用新型对应于每根下部尾管分别设置一抽风机进行尾气抽取,有效保证了抽风过程的稳定性。
搜索关键词: 一种 适用于 太阳能电池 喷淋 扩散 装置
【主权项】:
一种适用于太阳能电池喷淋扩散的装置,包括扩散炉管,扩散炉管上设置有上部尾管和下部尾管,喷淋式进气管的喷淋扩散段通过上部尾管伸入扩散炉管内,其特征在于:每根下部尾管的一端与扩散炉管内部连通,另一端与一抽风机连接。
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