[实用新型]一种等离子刻蚀夹具保护装置

摘要

本实用新型公开一种等离子刻蚀夹具保护装置，属于PSS制程设备领域，包括刻蚀夹具，刻蚀夹具包括陶瓷体，陶瓷体内开有圆形空腔，陶瓷体的外缘设有若干陶瓷凸耳，各陶瓷凸耳上均开有一安装孔；还包括安装在陶瓷体上表面的金属保护层，金属保护层上开有与空腔相同的金属圆腔，金属保护层的外缘上设有与陶瓷凸耳配合的保护凸耳，保护凸耳上开有通孔，安装孔、通孔内安装有绝缘螺母，使金属保护层固定在陶瓷体上表面。该装置通过在原有的陶瓷夹具上面覆盖一层金属保护层，有效避免陶瓷夹具被等离子体刻蚀，将其使用寿命由原来的三个月延长至六个月；金属保护层可降低陶瓷与等离子体反应产生的粉末，降低产品出现图形缺失的比例，有效提高生产良率。

主权项

一种等离子刻蚀夹具保护装置，包括刻蚀夹具，所述刻蚀夹具包括陶瓷体(2)，陶瓷体(2)内开有圆形空腔(3)，所述陶瓷体(2)的外缘设有若干陶瓷凸耳(1)，各陶瓷凸耳(1)上均开有一安装孔(4)；其特征在于，还包括安装在陶瓷体(2)上表面的金属保护层(5)，所述金属保护层(5)上开有与空腔(3)相同的金属圆腔(8)，所述金属保护层(5)的外缘上设有与陶瓷凸耳(1)配合的保护凸耳(6)，所述保护凸耳(6)上开有通孔，所述安装孔(4)、通孔内安装有绝缘螺母(7)，使金属保护层(5)固定在陶瓷体(2)上表面。