[实用新型]一种用于扩散炉/PECVD设备的机械手手爪结构有效
| 申请号： | 201620913508.5 | 申请日： | 2016-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN206201005U | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 李致文;张勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/08 | 分类号： | B25J15/08;H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司44247 | 代理人： | 胡朝阳,尹彦 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区横*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于扩散炉/PECVD设备的机械手手爪结构，包括爪体，爪体的一侧设有手爪，爪体的另一侧设有第一安装座、铰链座和第二安装座，第二安装座固定在爪体的一侧面上，铰链座的一端通过铰链销与第二安装座连接，铰链座的另一端伸出爪体并与第一安装座固定连接，第一安装座与第二安装座之间设有间距，且第一安装座的两个端部与第二安装座的两个端部之间设有弹性件，还包括拨杆和行程开关，拨杆的一端为与铰链座固定连接的固定端，另一端为自由端且伸入第二安装座与手爪之间，行程开关固定于拨杆自由端部两侧的爪体上。该机械手手爪结构在手爪在产生撞击时，使得机械手停止运动，从而保证了石英舟或石墨舟的安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扩散 pecvd 设备 机械手 手爪 结构 | ||
【主权项】：
一种用于扩散炉/PECVD设备的机械手手爪结构，包括爪体（10），所述爪体的一侧设有手爪(20)，所述爪体的另一侧设有第一安装座(30)、铰链座(40)和第二安装座(50)，所述第二安装座固定在所述爪体的一侧面上，所述铰链座的一端可转动与所述第二安装座连接，所述铰链座的另一端伸出所述爪体并与所述第一安装座固定连接，所述第一安装座与所述第二安装座之间设有间距，且所述第一安装座的两个端部与所述第二安装座的两个端部之间设有弹性件(90)，其特征在于：还包括拨杆(60)和行程开关(70)，所述拨杆的一端为与所述铰链座固定连接的固定端，另一端为自由端且伸入所述第二安装座与所述手爪之间，所述行程开关固定于所述拨杆自由端部两侧的爪体上。
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