[实用新型]一种高精度、大行程三自由度并联微定位平台

摘要

本实用新型公开了一种高精度、大行程三自由度并联微定位平台，包括基体，在基体的中央形成有动平台及均布在动平台周围的四个柔性桥式放大机构，沿X向布置的任意一个柔性桥式放大机构采用压电陶瓷驱动器Ⅰ驱动，沿Y向布置的两个柔性桥式放大机构各采用一个压电陶瓷驱动器Ⅱ驱动；沿X向布置的两个柔性桥式放大机构各采用两个沿X向串联的半圆形柔性铰链Ⅰ与动平台连接，沿Y向布置的两个柔性桥式放大机构各采用每两个一组的半圆形柔性铰链Ⅱ与动平台连接，每组内的两个半圆形柔性铰链Ⅱ串联且与Y向平行，两组半圆形柔性铰链Ⅱ关于中心对称。本实用新型能够实现动平台在XY平面内高精度、大行程的运动，并且具有较高的工作带宽和固有频率。

主权项

一种高精度、大行程三自由度并联微定位平台，其特征在于，包括基体，在所述基体的中央形成有动平台及均布在所述动平台周围的四个柔性桥式放大机构，其中两个所述柔性桥式放大机构沿X向布置，另外两个所述柔性桥式放大机构沿Y向布置，每个所述柔性桥式放大机构设有一平行板导向机构，二者组合形成一个微定位机构；沿X向布置的任意一个所述柔性桥式放大机构采用压电陶瓷驱动器Ⅰ驱动，沿Y向布置的两个所述柔性桥式放大机构各采用一个压电陶瓷驱动器Ⅱ驱动；沿X向布置的两个所述柔性桥式放大机构各采用两个沿X向串联的半圆形柔性铰链Ⅰ与所述动平台连接，沿Y向布置的两个所述柔性桥式放大机构各采用每两个一组的半圆形柔性铰链Ⅱ与所述动平台连接，每组内的两个所述半圆形柔性铰链Ⅱ串联且与Y向平行，两组所述半圆形柔性铰链Ⅱ关于中心对称。