[实用新型]硅片筛分流水线系统有效
| 申请号： | 201620920346.8 | 申请日： | 2016-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN205992524U | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 陈爵彬 | 申请（专利权）人： | 厦门佳元电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙)35222 | 代理人： | 郭福利 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种硅片筛分流水线系统，包括振动式圆筛单元、流水线单元、视觉检测单元、电阻检测单元以及多个回收单元；所述振动式圆筛单元用于按照硅片的尺寸筛分出不同规格的硅片，并使硅片倾斜进入所述流水线单元；所述视觉检测单元设置在所述流水线单元的前端，用于获取倾斜设置的硅片的位置；所述电阻检测单元设置在所述流水线单元的中部，用于根据所述硅片的位置检测对应硅片的阻值；所述回收单元设置于所述流水线单元后端，用于根据硅片的阻值将硅片分流到不同的回收单元。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 筛分 流水线 系统 | ||
【主权项】：
一种硅片筛分流水线系统，其特征在于，包括：振动式圆筛单元、流水线单元、视觉检测单元、电阻检测单元以及多个回收单元；所述振动式圆筛单元用于按照硅片的尺寸筛分出不同规格的硅片，并使硅片倾斜进入所述流水线单元；所述视觉检测单元设置在所述流水线单元的前端，用于获取倾斜设置的硅片的位置；所述电阻检测单元设置在所述流水线单元的中部，用于根据所述硅片的位置检测对应硅片的阻值；所述回收单元设置于所述流水线单元后端，用于根据硅片的阻值将硅片分流到不同的回收单元。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
