[实用新型]空气流量传感器有效
| 申请号： | 201620921043.8 | 申请日： | 2016-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN205940665U | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 缪建民;陈欣悦 | 申请（专利权）人： | 上海微联传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/69 | 分类号： | G01F1/69 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 孟金喆,胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种空气流量传感器。所述空气流量传感器包括背面具有空腔的石英衬底；在所述石英衬底正面沿空气流向依次排布环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻；其中，所述上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻均设置于对应所述空腔的空气流量测量区内；分别与所述环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻独立连接的多个端子电极。本实用新型解决了空气流量传感器的精度与环境适应能力不可兼得的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 流量传感器 | ||
【主权项】：
一种空气流量传感器，其特征在于，包括：背面具有空腔的石英衬底；在所述石英衬底正面沿空气流向依次排布环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻；其中，所述上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻均设置于对应所述空腔的空气流量测量区内；分别与所述环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻独立连接的多个端子电极。
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