[实用新型]一种切割硅片产生的切削液的回收利用系统有效
申请号: | 201620922190.7 | 申请日: | 2016-08-22 |
公开(公告)号: | CN206066723U | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 李海静;王陆锋 | 申请(专利权)人: | 呼和浩特市欧通能源科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 010020 内蒙古自治区呼和*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种切割硅片产生的切削液的回收利用系统,其包括切削液收集箱、压滤机、清液收集箱、精滤器、RO水存储箱、切削液存储箱和回用液水箱,切削液收集箱出液口与压滤机进液口通过管路连接,压滤机的清液出口与清液收集箱的进液口通过管路连接,清液收集箱的出液口与精滤器的进液口通过管路连接,精滤器的出液口与回用液水箱进液口通过管路连接,RO水存储箱出液口和切削液存储箱出液口分别和回用液水箱进液口通过管路连接,压滤机的浊液出口与压滤机的进液口通过管路连接。本实用新型通过将经过压滤机处理后流出的清液继续经过精滤器去除可能存在的杂质,最终降低回用切削液中的杂质含量,保证切削液品质,进而保证切割硅片的良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 切割 硅片 产生 切削 回收 利用 系统 | ||
【主权项】:
一种切割硅片产生的切削液的回收利用系统,其特征在于,其包括切削液收集箱、压滤机、清液收集箱、精滤器、RO水存储箱、切削液存储箱和回用液水箱,所述切削液收集箱的出液口与所述压滤机的进液口通过管路连接,所述压滤机的清液出口与所述清液收集箱的进液口通过管路连接,所述清液收集箱的出液口与所述精滤器的进液口通过管路连接,所述精滤器的出液口与所述回用液水箱的进液口通过管路连接,所述RO水存储箱出液口和所述切削液存储箱的出液口分别和所述回用液水箱的进液口通过管路连接,所述压滤机的浊液出口与所述压滤机的进液口通过管路连接。
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