[实用新型]一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统

摘要

本实用新型公开了一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统，其包括储液箱、线切机、切削液收集箱、压滤机、清液收集箱、精滤器、RO水存储箱、切削液存储箱和回用液存储箱，储液箱的侧壁底部设置有溢流口，溢流口与切削液收集箱进液口通过出液管连通，切削液收集箱、压滤机、清液收集箱、精滤器和回用液存储箱依次连通；出液管为直管，出液管上连通有h形溢流管，溢流管的底端两侧管口分别与出液管垂直连通，溢流管的顶端管口处设置有滤网，溢流管两底端之间的出液管上设置有开关阀。本实用新型储液箱溢流口位于储液箱侧壁底部，使得废弃切削液自储液箱底部流出，利于储液箱内固相置换外排，防止储液箱内因固体累积过多导致储液箱出液口堵塞。

主权项

一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统，其特征在于，其包括储液箱、线切机、切削液收集箱、压滤机、清液收集箱、精滤器、RO水存储箱、切削液存储箱和回用液存储箱，所述储液箱的侧壁底部设置有溢流口，所述线切机的进液口与所述储液箱的出液口通过管路连接，所述线切机的出液口与所述储液箱的进液口通过管路连接，所述溢流口与所述切削液收集箱的进液口通过出液管连通，所述切削液收集箱的出液口与所述压滤机的进液口通过供液管路连通，所述压滤机的清液出口与所述清液收集箱的进液口通过管路连通，所述清液收集箱的出液口与所述精滤器的进液口通过管路连通，所述精滤器的出液口与所述回用液存储箱进液口通过管路连通，所述RO水存储箱出液口和所述切削液存储箱出液口分别和所述回用液存储箱进液口通过管路连通，所述回用液存储箱出液口与所述储液箱进液口通过管路连通，所述压滤机的浊液出口与所述压滤机的进液口通过管路连通；所述出液管为直管，所述出液管上连通有h形的溢流管，所述溢流管的底端两侧管口分别与所述出液管垂直连通，所述溢流管的顶端管口处设置有滤网，所述溢流管的两底端之间的所述出液管上设置有开关阀。