[实用新型]一种探针卡研磨机有效
申请号: | 201620932958.9 | 申请日: | 2016-08-24 |
公开(公告)号: | CN205928230U | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 张继;李祥峰 | 申请(专利权)人: | 大连火蓝电子科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/00 | 分类号: | B24B37/00 |
代理公司: | 大连智高专利事务所(特殊普通合伙)21235 | 代理人: | 李猛 |
地址: | 116600 辽宁省大连市保税区*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种探针卡研磨机,包括基座、探针卡固定机构和研磨机构;所述的研磨机构包括安装支架、传动机构、调节机构和研磨台;所述的调节机构包括刻度圆盘和升降丝杠,所述的传动机构为手动偏心轮传动机构。由于本实用新型采用刻度圆盘和升降精密丝杠作为调节机构,可以将探针研磨的平面度控制在±5μm规格内。由于本实用新型的传动机构中的偏心轮是可更换的,不同规格的偏心轮的中心轴到到偏心轴的距离是不同的,通过更换偏心轮的规格,可以方便地对直径在150μm以下的探针针尖进行研磨。由于本实用新型的调节机构和传动机构均为手动,使得结构更加简单,便于作业人员边研磨边调整,大大提高了工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 探针 研磨机 | ||
【主权项】:
一种探针卡研磨机,其特征在于:包括基座、探针卡固定机构(1)和研磨机构;所述的基座包括底板(2)、面板(3)和四个支柱(4),所述的面板(3)通过四个支柱(4)固定在底板(2)上,所述的面板(3)上有矩形通孔;所述的探针固定机构固定安装在基座的面板(3)上,用于固定待研磨的探针卡;所述的研磨机构包括安装支架(5)、传动机构、调节机构和研磨台(6);所述的安装支架(5)包括两块立板、竖向导轨和门形框架,所述的两块立板安装在底板(2)上,所述的门形框架通过竖向导轨安装在两块立板之间、并与竖向导轨滑动连接;所述的调节机构包括刻度圆盘(7)和升降丝杠(8),所述的刻度圆盘(7)安装在底板(2)上、通过升降丝杠(8)连接到门形框架上;所述的研磨台(6)位于面板(3)的矩形通孔中,研磨台(6)上放置金刚石砂纸,研磨台(6)底部通过XY滑台机构安装在安装支架(5)上;所述的传动机构为手动偏心轮(11)传动机构,固定在安装支架(5)上,通过转动连接杆(9)连接到研磨台(6)上。
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